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利用sol—gel旋涂法在普通盖玻片上生长了ZnO薄膜，用光学透射谱、光致发光谱和原子力显微术研究了ZnO薄膜的光学性质和表面形貌．结果发现，在一定薄膜厚度范围内，紫外发光带和光学吸收边均随着薄膜厚度的减小而单调蓝移，且紫外发光强度递增，峰宽变大．综合光致发光谱、光学透射谱和薄膜表面形貌，对薄膜中晶粒尺寸、应力、缺陷等对光学性质的影响进行了讨论．