【摘 要】
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随着集成电路产业的快速发展,芯片的集成度越来越高,芯片测试成本占整个生产成本的比例越来越大.高精度、低成本的直流参数自动测试系统已然成为现今集成电路测试的必然要求.
【机 构】
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天津大学微电子学院,长江存储科技有限公司
【出 处】
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天津大学学报:自然科学与工程技术版
【基金项目】
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国家重大科技专项资助项目(2017ZX02301).
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随着集成电路产业的快速发展,芯片的集成度越来越高,芯片测试成本占整个生产成本的比例越来越大.高精度、低成本的直流参数自动测试系统已然成为现今集成电路测试的必然要求.为满足我国当代集成电路产业发展的需要,快速且有效地检验芯片性能,对集成电路直流参数测试原理和测试技术展开研究.提出了一种基于现场可编程门阵列的集成电路直流参数的测试方法,在模块化的设计原则基础上,以低成本高精度为方向,搭建了测试系统的软硬件框架结构.设计了具有宽测试范围、高测量精度的精密测量电路,具有16个独立可编程电压输出通道和一路测量电路,
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