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本文主要讨论在由Ｏ２携带的Ｃ２ＨＣｌ３气氛中，利用准分子激光对铜膜印刷板进行微细刻蚀的机理和实验研究结果。
光激励C2HCl3原子团对铜薄膜的微细刻蚀
【摘 要】
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本文主要讨论在由Ｏ２携带的Ｃ２ＨＣｌ３气氛中，利用准分子激光对铜膜印刷板进行微细刻蚀的机理和实验研究结果。
【机 构】
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上海科学技术大学
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1995年2期
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