微细刻蚀相关论文
第23届SPIE微细光刻学术会议于1998年2月22日至27日在美国加利福尼亚州Sa-ta clara市召开。与会者有1500余人,发表论文约500篇。分......
本文主要讨论在由Ｏ２携带的Ｃ２ＨＣｌ３气氛中，利用准分子激光对铜膜印刷板进行微细刻蚀的机理和实验研究结果。......
