用于显微结构的激光化学

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xmuppdragon
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微电子学线路迅速增长的复杂性使集成网路的设计、制造者面临新的技术困难。到七十年代末很可能在单个集成电路基片上排布百万个逻辑门,但不具缺陷的基片的产额随着元件数目的增多而迅速下降。用流行的平版印刷术生产少量的定制线路常常是不经济的,普遍认为,对这样的电路,半导体工业已不能满足其需要。尤其是,这些平版印刷步骤不能生产大于几平方英寸的大规模集成电路,而且其缓慢的迂回速率为日益增长的微型化所必需的设计试验造成妨碍。
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太赫兹双轴共焦扫描显微成像系统能够提高反射式共焦扫描显微系统的分辨率,为保证成像系统性能,需要合理选择离轴抛面镜组的直径、焦距和入射角等参数。提出了一种2.52 THz双轴共焦扫描显微成像实验方案,仿真研究了主要系统参数对成像系统分辨率的影响,并在所确定的系统参数条件下,计算分析了探测器位置偏移对系统轴向特性的影响。结果表明,当探测器轴向偏移在-1.73~1.73 mm范围内时,光强不小于探测器正好位于焦点处时光强最大值的80%;当探测器横向偏移范围在-0.03~0.03 mm范围内时,分辨率基本不变,响
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