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期刊论文
三维微机械电感的优化设计
三维微机械电感的优化设计
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hubeibei1919
【摘 要】
:
研究了影响三维微机械电感电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,得到
【作 者】
:
李雯
谭智敏
刘理天
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
三维
微电子机械系统
电感
优化设计
D
MEMS
inductor
optimization
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研究了影响三维微机械电感电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,得到了电感的优化结构,在2.5 GHz的工作频率下,其电感值为11 nH,Q值为9.
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