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本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状,指出传感技术的研究已开始深入,基础研究得到加强,集成化系统化方面的研究取得明显成果,并出现了两个跨学科的前沿方向——硅微机械加工和真空微电子学。
国外传感技术研究现状
【摘 要】
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本文综述了国际上八十年代以来传感技术的研究现状,指出传感技术的研究已开始深入,基础研究得到加强,集成化系统化方面的研究取得明显成果,并出现了两个跨学科的前沿方向——
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1993年3期
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