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热处理对电子辐照硅中多稳态缺陷的影响
热处理对电子辐照硅中多稳态缺陷的影响
来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guoshun9231
【摘 要】
:
利用深能级瞬态谱(DLTS)对电子辐照区熔硅中多稳态缺陷进行研究的结果表明,经2h1000℃温度退火后,观测到在Ec-0.44eV能级中的多稳组态由40%减少到10%左右。这一实验结果为稳态缺陷不是Ps-Ci结构,而是E中心自身在晶
【作 者】
:
齐鸾亭
潘飞溪
【出 处】
:
四川大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
电子辐照
多稳态缺陷
热处理
硅
electron irradiation
multistable defect
heat treatment
E-cent
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利用深能级瞬态谱(DLTS)对电子辐照区熔硅中多稳态缺陷进行研究的结果表明,经2h1000℃温度退火后,观测到在Ec-0.44eV能级中的多稳组态由40%减少到10%左右。这一实验结果为稳态缺陷不是Ps-Ci结构,而是E中心自身在晶场应力下显示稳态特性的设相提供了有说服力的证明。
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