【摘 要】
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日本多摩化学工业公司开始在台湾进行半导体用薄膜形成材料的连续性生产。以前,该公司用船把在日本和美国生产的半导体用薄膜形成材料原硅酸四乙酯运抵台湾,但长时间的运输
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日本多摩化学工业公司开始在台湾进行半导体用薄膜形成材料的连续性生产。以前,该公司用船把在日本和美国生产的半导体用薄膜形成材料原硅酸四乙酯运抵台湾,但长时间的运输不仅使纯度变差,而且需要准备很多昂贵的特殊容器。为了提高质量和
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