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气敏薄膜传感器SnO2:Sb的制备及性能研究
气敏薄膜传感器SnO2:Sb的制备及性能研究
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hongwei3330857
【摘 要】
:
利用等离子体化学气相沉积制备了SnO2:Sb导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对NO2气体的气敏性,并进行了理论分析。
【作 者】
:
朱大奇
刘祖黎
【机 构】
:
华东冶金学院,华中理工大学
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1998年9期
【关键词】
:
气敏薄膜传感器
气敏性
PCVD
薄膜
传感器
PCVD
Gas Sensitive Film Sensor
Gas Sensibility.
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利用等离子体化学气相沉积制备了SnO2:Sb导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对NO2气体的气敏性,并进行了理论分析。
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