【摘 要】
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从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线。计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO（c面）/蓝宝石（c面）结构西沙瓦波1次模式
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所,南京1806-147信箱94860部队
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从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线。计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO（c面）/蓝宝石（c面）结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705%,理论声速为4 982m/s;在h/λ=0.3时,IDT/ZnO（a面）/蓝宝石（r面）结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4.34%,理论声速为5 509m/s。结果表明,IDT/ZnO（a面）/蓝宝石（r面）结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大,适于研制高频低损耗声表面波滤波器。
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