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论述了双辉光离子渗金属两电极之间互相作用的机理,针对极间耦合的情况提出了两台电源一个时序下交替工作的控制方案。以工件温度控制为主,自适应分配两电源的交替工作时间,既解决了二源的相互影响问题,又保证了高的运行效率。实际应用证明该方案满足工艺要求,合理可行。
双辉光放电极间解耦的电源控制方法
【摘 要】
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论述了双辉光离子渗金属两电极之间互相作用的机理,针对极间耦合的情况提出了两台电源一个时序下交替工作的控制方案。以工件温度控制为主,自适应分配两电源的交替工作时间,
【机 构】
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中南民族大学等离子体研究所;
【出 处】
：
电子技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
：
国家民委科研基金项目(MZY15001)
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