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本文利用材料热膨胀系数不同的性质设计了一种可以对小面积热源进行高灵敏检测的温度传感器。该传感器的温度敏感元件是一个上表面镀有金属的氮化硅悬臂梁。由于金属与氮化硅的热膨胀系数不同,因此当悬臂梁所在的环境温度发生变化时,悬臂梁会向温度梯度变化快的方向发生弯曲,并且弯曲量与温度成正相关关系。实验中通过光杠杆测量梁的弯曲量,用标定的方式建立温度与探测器输出电压之间的关系。结果显示,该传感器的灵敏度可以达到4.86mV/℃,以及0.04℃的温度分辨力。为验证传感器对小面积热源进行测量的适用性,我们利用NaYF