新的PIN型0.95μm光探测器设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：memory_prince

【摘要】

：

提出并设计了一种新的PIN型0.95μm光探测器。它的I层是Ge0.3Si0.7（8nm）/Si（12 nm）,共50个周期。上、下缓冲层厚各为0.1μm,n+-Si(1020Cm-3厚约0.5μm,衬底为〈100〉P+-Si,器件面

【作者】

：

李国正李代宗

【机构】

：

西安交通大学电子工程系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

1997年1期

【关键词】

：

光探测器火灾报警设计 photodetector GeSi SLS

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提出并设计了一种新的PIN型0.95μm光探测器。它的I层是Ge0.3Si0.7（8nm）/Si（12 nm）,共50个周期。上、下缓冲层厚各为0.1μm,n+-Si(1020Cm-3厚约0.5μm,衬底为〈100〉P+-Si,器件面积为4mm2。这种探测器一旦实现,它对0.95μm光的灵敏度比硅PIN型探测器高得多,可用于火灾报警等场合。更多还原

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