CZTSe吸收层的真空硒化工艺研究

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本文使用固态硒源,采用两步升温硒化的方法来制备光吸收层CZTSe薄膜,主要研究了真空硒化装置及硒化温度等因素对CZTSe薄膜质量的影响.采用扫描电镜、X衍射粉末衍射仪和拉曼光谱来分析硒化后得到的CZSTe薄膜的质量,并筛选出合适的硒化条件.
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