论文部分内容阅读
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜，利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及x射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明：沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构，成分深度分布及相结构分析证实，所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体／Cr／CrN／CrTiAlN／CrTiAlCN结构相吻合；在梯度过渡中，不同层之间界面体现为渐变过渡过程；沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26．31GPa，膜／基结合力大于80N，摩擦因数低至0．113，力学性能优良。