半导体制造系统优化调度模型的分解和简化方法

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在半导体制造系统流体网络模型的基础上 ,建立了以减小平均在制品水平为目标的可分解的优化调度模型 .利用其可分解的特性 ,把整个调度周期划分为若干等长的子区间 ,把原调度问题分解为这些子区间上的子问题 .在半导体制造环境下 ,这些子问题可以进一步简化 ,因此通过求解这些子问题得到了原调度问题的解 .这种算法的计算量与调度周期成正比 ,而且应用实例表明 ,其性能有很大提高 . Based on the model of fluid network in semiconductor manufacturing system, a decomposable optimal scheduling model is set up, which aims to reduce the average work-in-process level. By using its decomposable features, the whole scheduling cycle is divided into several equally- The original scheduling problem is decomposed into sub-problems in these subintervals.In the semiconductor manufacturing environment, these sub-problems can be further simplified, so the solution of the original scheduling problem is obtained by solving these sub-problems. The calculation of this algorithm and the scheduling cycle Is proportional to, and application examples show that its performance has greatly improved.
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