交流法短沟道MOS器件模型参数计算机自动提取

来源 :华东师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xmblyy

【摘要】

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本文介绍了一种新型的交流法短沟道MOS器件参数计算机自动提取技术.它能快速而又精确地提取短沟道MOS器件的源漏串联电阻R_T、表面迁移率μ_0、迁移率退化因子θ、阈值电压V_

【作者】

：

赖宗声毛敏

【机构】

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华东师范大学电子科学系,华东师范大学电子科学系

【出处】

：

华东师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

1990年1期

【关键词】

：

MOS器件短沟道模型参数提取 short-channel MOS device modeling parameters computer extracti

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本文介绍了一种新型的交流法短沟道MOS器件参数计算机自动提取技术.它能快速而又精确地提取短沟道MOS器件的源漏串联电阻R_T、表面迁移率μ_0、迁移率退化因子θ、阈值电压V_T、平均表面态密度D_(it)等SPICE模拟程序中的模型参数.对LDD、硅栅CMOS等短沟道MOS器件测试结果表明它还具有抗干扰能力强之特点,是一种LSI-MOS电路制造的有效的CAM手段.

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