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期刊论文
离子注入机的接受相图分析
离子注入机的接受相图分析
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaokeai
【摘 要】
:
束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束
【作 者】
:
蔡仁康
【机 构】
:
上海科技大学
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1990年12期
【关键词】
:
离子
注入机
接受相图
发射相图
Beam optics Acceptance diagram Emittance diagram Ion implanter
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束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。
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