【摘 要】
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激光辐射干涉对区熔再结晶多晶硅膜稳定性的影响＝〔刊，俄〕１９９４，２３（６）．１３～１７众所周知，在氧化了的硅片上区熔再结晶多晶硅是制作适用于ＣＭＯＳ集成电路的ＳＯＩ结构之最便宜的方法。在前苏联，开发出了最富成效的
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激光辐射干涉对区熔再结晶多晶硅膜稳定性的影响＝〔刊，俄〕１９９４，２３（６）．１３～１７众所周知，在氧化了的硅片上区熔再结晶多晶硅是制作适用于ＣＭＯＳ集成电路的ＳＯＩ结构之最便宜的方法。在前苏联，开发出了最富成效的区熔再结晶方法。拉脱维亚“阿尔法”股...
Effect of laser radiation interference on the stability of zone recrystallized polycrystalline silicon film [], [], 1994,23 (6). 13 to 17 It is well-known that zone-recrystallized polysilicon on oxidized silicon wafers is the cheapest way to make SOI structures suitable for CMOS integrated circuits. In the former Soviet Union, the most effective zone recrystallization method was developed. Latvia “alpha” shares ...
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