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介绍了数字式激光平面干涉仪的测量优势,阐述了利用其进行平面和球面面形的测量方法,弥补了传统平面等厚干涉仪只能测量平面平晶的不足。同时分析了影响测量结果的几个因素,并利用ZEMAX软件模拟平晶位置,观察干涉条纹。
一种检测平晶和透镜面形的方法
【摘 要】
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介绍了数字式激光平面干涉仪的测量优势,阐述了利用其进行平面和球面面形的测量方法,弥补了传统平面等厚干涉仪只能测量平面平晶的不足。同时分析了影响测量结果的几个因素,
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2014年03期
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