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分别用连续激光、40kHz和5kHz重频激光对可见光CCD进行损伤实验，发现了相似的损伤现象，即点损伤、线状损伤和完全损伤，并分别测量了各个损伤状态下的驱动电极与衬底间的阻抗变化；分别对三组实验中损伤的CCD芯片进行电镜扫描，微观分析各个损伤位置处的损伤形貌，详细解释了出现三种损伤现象的原因，并比较了三种工作状态激光的不同作用机理。得到的结论是：点损伤现象与CCD表层的损伤有关，线损伤现象与漏光和电极间短路有关、完全损伤现象与绝缘层的损伤有关；连续激光作用的过程以热熔融为主、40kHz重频激光作用的过程以