【摘 要】
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激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式,由于反射器的作用,直接接收的脉冲当量为λ/2(约0.3μm),对于精密测量来说,显然是不够的.如何提高激光干涉仪系统的分辨率
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激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式,由于反射器的作用,直接接收的脉冲当量为λ/2(约0.3μm),对于精密测量来说,显然是不够的.如何提高激光干涉仪系统的分辨率是激光干涉仪中的重要技术,有多种激光干涉仪的细分方法,概括起来为光学细分和电子细分两大类,本文介绍了几种典型方法,并分析了各种方法的特点.
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