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期刊论文
对向靶溅射AIN薄膜的研究
对向靶溅射AIN薄膜的研究
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xbjxbj008
【摘 要】
:
本文介绍了采用对向靶溅射装置,在较低的基片温度下(<70℃)制备AlN薄膜的方法。通过控制溅射气氛和成膜速率,可以得到符合化学式量比的优质AlN薄膜。将该AlN薄膜作为磁光薄膜
【作 者】
:
范启华
曲建明
【机 构】
:
电子科技大学,电子科技大学
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
薄膜
溅射
对向靶
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本文介绍了采用对向靶溅射装置,在较低的基片温度下(<70℃)制备AlN薄膜的方法。通过控制溅射气氛和成膜速率,可以得到符合化学式量比的优质AlN薄膜。将该AlN薄膜作为磁光薄膜的光学匹配膜,使磁光克尔旋转角从0.32°增加到0.72°。
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