对向靶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

对向靶相关论文

对向靶溅射AIN薄膜的研究

本文介绍了采用对向靶溅射装置,在较低的基片温度下(<70℃)制备AlN薄膜的方法。通过控制溅射气氛和成膜速率,可以得到符合化学式量......

期刊

薄膜溅射对向靶

退火及超声处理对ZnO薄膜结构和发光特性的影响

利用对向靶射频磁控溅射系统在Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜，并对其进行了退火和超声处理。采用XRD，AFM和光致发光谱对其结构、表面形貌......

期刊

ZNO薄膜退火处理超声处理光致发光对向靶磁控溅射 ZnO thin films Annealing Supersonic treatment Phot

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