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本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作 错综合复杂的正八边形单硅膜的方法。
氢氧化钾各向异性腐蚀制作近拟圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术
【摘 要】
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本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作 错综合复杂的正八边形单硅膜的方法。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年4期
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