【摘 要】
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提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器.该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效.仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33 nm/nm和11 nm/nm,光栅刻槽折射率对波长的调谐系数为1 nm/0.006.将光栅脊与刻槽的小折射率差与高阶光栅相结合,可以实现1550 nm波段更窄带宽的全刻蚀光栅滤波器.“,”A fully etched Bragg grating filter based on Silicon-On-Insula
【机 构】
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南京邮电大学 通信与信息工程学院,南京 210003;南京邮电大学 射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室,南京 210023;南京邮电大学 通信与信息工程学院,南京 210003;南京邮电大学
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提出了一种基于绝缘层上硅波导的全刻蚀布拉格光栅滤波器.该器件可通过对顶部硅的一步刻蚀来实现,其特性使布拉格波长的调谐更加灵敏和有效.仿真研究结果表明,其一阶和三阶光栅的周期对波长调谐系数分别为33 nm/nm和11 nm/nm,光栅刻槽折射率对波长的调谐系数为1 nm/0.006.将光栅脊与刻槽的小折射率差与高阶光栅相结合,可以实现1550 nm波段更窄带宽的全刻蚀光栅滤波器.“,”A fully etched Bragg grating filter based on Silicon-On-Insulator(SOI)waveguide is proposed. The full-etched feature makesthe tuning on Bragg wavelength more sensitive and efficient,which can be fabricated by one-step top silicon etching. The simulation results show that the wavelength-period tuning coefficient of 33 nm/nm and 11 nm/nm for the first- and third-order gratings are obtained respectively, groove refractive index tuning has a coefficient of 1 nm/0.006. Combining low refractive index contrast of grating bar and groove with higher grating order,the full-etched grating filter with a narrower bandwidth at 1550 nm band can be realized.
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