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叙述了ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结双极晶体管的工作原理以及一种双台面结构的逆向制造方法。
SiGe／Si HBT及逆向制造方法
【摘 要】
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叙述了ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结双极晶体管的工作原理以及一种双台面结构的逆向制造方法。
【机 构】
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北京工业大学电子工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家“863”资助
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