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光发射模块中激光器与光纤的无源耦合
光发射模块中激光器与光纤的无源耦合
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abmabc
【摘 要】
:
对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无
【作 者】
:
杨存永
汪锁发
赵知夷
【机 构】
:
中科院微电子研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
硅基平台
无源耦合
V型槽
silicon optical bench
passive alignment
V groove
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对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合,出纤光功率达到了毫瓦级,且经过37次高低温冲击性能不变.
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