飞秒激光加工ZnS晶体沟槽形貌及其疏水性能研究

来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chren1981
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ZnS材料具有良好的光学和电学性能,是一种重要的半导体材料,在电学,光学和催化领域有巨大的应用前景。研究了飞秒激光能量和扫描速度对ZnS表面形貌及其疏水性能的影响规律。研究发现,随着激光能量增加沟槽深度和宽度增加,同时沟槽深度变化更为显著;扫描速度减小时,沟槽深度和宽度增加,沟槽边缘质量更好。在此基础上,研究了扫描速度对ZnS表面湿润特性的影响。实验结果表明,扫描速度越小,沟槽形貌越粗糙,其表面疏水性能更强,实验获得的最大疏水角为140°。 The ZnS material has good optical and electrical properties and is an important semiconductor material with great potential applications in the fields of electrical, optical and catalysis. The influence of femtosecond laser energy and scanning speed on the surface morphology and hydrophobic properties of ZnS was investigated. The results show that with the increase of laser energy, the depth and width of the trench increase and the depth of the trench changes more significantly. When the scanning speed decreases, the depth and width of the trench increase, and the quality of the edge of the trench is better. On this basis, the effect of scanning speed on the wetting property of ZnS surface was studied. The experimental results show that the smaller the scanning speed is, the rougher the groove morphology is, the more hydrophobic the surface is. The maximum hydrophobic angle obtained in experiment is 140 °.
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