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真空微电子器件及其研究进展
真空微电子器件及其研究进展
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuya
【摘 要】
:
由于真空微电子器件具有十分诱人的应用前景,近几年引起了人们的极大兴趣,成为电子器件发展的一个重要分支和前沿。本文叙述真空微电子器件的特点,原理、应用和最新研究成果
【作 者】
:
郭宝增
【机 构】
:
河北大学电子与信息工程系河北保定071002
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1993年6期
【关键词】
:
真空微电子学
微电子器件
场发射
Vacuum microelectronics.Microelectronic devices
Field emission
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由于真空微电子器件具有十分诱人的应用前景,近几年引起了人们的极大兴趣,成为电子器件发展的一个重要分支和前沿。本文叙述真空微电子器件的特点,原理、应用和最新研究成果。
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