Study of Thermal Treatment on Properties of Polycrystalline Silicon

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhihuan110

【摘要】

：

The effects of thermal annealing on oxygen behavior and carrier lifetimes of mc-Si wafers were investigated by means of FTIR and QSSPCD during single step and t

【作者】

：

Ren Bingyan Gou Xianfang Ma Li

【机构】

：

InstituteofInformationFunctionMaterials

【出处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

POLYCRYSTALLINE SILICON OXYGEN LIFETIME

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The effects of thermal annealing on oxygen behavior and carrier lifetimes of mc-Si wafers were investigated by means of FTIR and QSSPCD during single step and two step heat treatments in N2 and O2 ambient. It reveals that interstitial oxygen concentration

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