【摘 要】
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本文叙述了一种用于直接片子步进机的聚焦跟踪系统的实验过程。并通过计算机模拟运算解释了传感器的制造误差。投影透镜的聚焦条件是通过自动检测固定在与中间掩模平面共轭的
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本文叙述了一种用于直接片子步进机的聚焦跟踪系统的实验过程。并通过计算机模拟运算解释了传感器的制造误差。投影透镜的聚焦条件是通过自动检测固定在与中间掩模平面共轭的一个平面上的测试光栅反射投影象的反差来确定的。为能使敏感的其连续自动跟踪,测试光栅利用固体光发光二极管发射的红光照明,以防止对紫外光抗蚀剂曝光。反差检测仪用一对按栅窗排列的大面积硅光二极管组成,以观察测试光栅间距与条栅互补的投影场。用于这些试验的投影镜头是一个数值孔径为0.95的40倍显徽物镜。已发现其聚焦焦深的检测范围大于1.6微米,且聚焦灵敏度
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