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六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。
六氟乙烷的制备及纯化方法概述
【摘 要】
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六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。
【机 构】
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佛山市华特气体有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年03期
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