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采用新的化学抛光方法处理HGEM膜,在不同的气体成分和比例下对THGEM膜的增益和能量分辨进行研究测量.结果 表明,以Ar/C4H1o为工作气体的THGEM探测器所需工作电压较低、增益高、能量分辨相对较好.在Ar/C4 H10(95%/5%)的气体条件下,THGEM的增益可达7× 103.