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期刊论文
Ni薄膜热敏电阻的研究
Ni薄膜热敏电阻的研究
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuzao81927
【摘 要】
:
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对N
【作 者】
:
闫卫平
席文柱
邝永变
杜立群
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2004年z1期
【关键词】
:
热敏电阻
Ni薄膜
电子探针微分析(EPMA)
Thermal resistor Ni thin film Electron probe micro-analy
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采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.
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