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本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法，阐述了此方法的原理和实现过程。对测得数据，根据ｓｔｒｏｋｅ理论分析了分度误差对光栅谱线产生的影响，实践证明，用此方法得到的谱的线轮廓与用光谱法测得的谱线基本一致。
衍射光栅刻划机分度误差的实时测量
【摘 要】
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本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法，阐述了此方法的原理和实现过程。对测得数据，根据ｓｔｒｏｋｅ理论分析了分度误差对光栅谱线产生的影响，实践证明，用此方法得到的谱的线轮廓与用
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1993年4期
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