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阐述了APS等离子体离子辅助沉积（PIAD）在光学镀膜中的应用，通过分析APS等离子源辅助沉积过程中离子束的能量传递过程，讨论了各种工艺条件对离子束辅助沉积薄膜特性的影响，给出了APS等离子源辅助沉积薄膜工艺选择的准则。
APS等离子体离子辅助沉积薄膜工艺
【摘 要】
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阐述了APS等离子体离子辅助沉积（PIAD）在光学镀膜中的应用，通过分析APS等离子源辅助沉积过程中离子束的能量传递过程，讨论了各种工艺条件对离子束辅助沉积薄膜特性的影响，给出了AP
【机 构】
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中国空空导弹研究院
【出 处】
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航空兵器
【发表日期】
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2008年2期
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