用紫外线光束产生半导体层

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美国海军研究所(NRL)的科学家们发展了一项新技术。用光诱导,有选择地在底物上沉积一层发光层及半导体层。这种薄层是由气体反应物凝聚而成的。这项新工艺已经成功地在一个底物上,通过以将通氙灯产生的紫外线光束,经过气相的化学离子化,沉积了一层锑添加物薄层。目前是以五氟化锑(SbF5)及各种有机或无机卤化物之间的反应而得到产物。已经研究的项目有:用光束诱导沉积一层电导及光导的膜;以电极来记录膜电阻与时间之间的变化;用紫外线
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