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制作了电热激励硅/二氧化硅双层微悬臂梁谐振器.对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明:减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度,可增大微悬臂梁谐振器输出电压;输出电压随激励功率增加而增大;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电桥电源电压成正比.最后论述了提高谐振器输出电压的可行途径.
电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究
【摘 要】
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制作了电热激励硅/二氧化硅双层微悬臂梁谐振器.对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明:减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度,可增大微悬臂梁谐振器输出电压;输出电压随
【机 构】
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西安交通大学电信学院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2003年4期
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