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设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺，它以“8悬臂梁-质量块”结构来实现Coriolis力的检测，与常见的单层弹性梁-质量块结构相比，具有更好的模态稳定性；大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在（111）硅晶圆上试制了基于“8悬臂梁-质量块”结构的微陀螺，由于在（111）晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢，而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围，因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制，获得较小的模态失配.在大气环境中，该陀螺具有±2