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“8悬臂梁-质量块”结构相关论文

基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺

设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺，它以“8悬臂梁-质量块”结构来实现Coriolis力的检测，与常见的单层弹性梁-质量块......

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微机械陀螺 X轴音叉式陀螺 “8悬臂梁-质量块”结构限制槽 (111)硅晶圆 MEMS x-axis gyroscope tuning fork gyr

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