具有场板和限制环的P^+N二极管击穿特性的研究

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本文从实验的角度研究了具有场板和场限制环的P^+N二极管的击穿特性,给出了场环至主结的最佳间距与衬底浓度和结深的关系曲线,并从物理机制上对此进行了较深入的讨论。
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