【摘 要】
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TDX-200透射电子显微镜的点分辨率为0.35 nm,已经不能满足目前的实验与测试需要。鉴于此,以0.25 nm的点分辨本领为优化目标,通过理论计算得到满足目标分辨率时物镜的球差和色
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TDX-200透射电子显微镜的点分辨率为0.35 nm,已经不能满足目前的实验与测试需要。鉴于此,以0.25 nm的点分辨本领为优化目标,通过理论计算得到满足目标分辨率时物镜的球差和色差的可接受范围。通过研究物镜结构参数S D对球差和色差等光学特性的影响,确定了球差和色差影响最小时S D的值,并据此确定了物镜下极靴第一锥角的取值。物镜的极靴和磁路设计参照TDX-200透射电子显微镜,极靴和磁路的材料分别选为铁钴合金1J22和电工纯铁DT4c。最终得了满足目标要求的新物镜模型,通过Munro软件对新物镜的光
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