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本文简要介绍了ＣＢＥ技术，综述了近年来ＣＢＥ在光电子技术领域内取得的进展。
化学束外延在光电子技术应用中的进展
【摘 要】
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本文简要介绍了ＣＢＥ技术，综述了近年来ＣＢＥ在光电子技术领域内取得的进展。
【机 构】
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中科院半导体所国家光电子工艺中心
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1995年4期
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