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笔者收集我国30个省、自治区、直辖市的高技术产业创新活动的投入产出数据,应用三阶段DEA模型测度高技术产业创新效率。研究显示:我国高技术产业创新效率整体水平偏低,政府行为、人力资本和信息化水平对高技术产业创新效率产生负向影响,区域经济和金融支持对高技术产业创新效率产生正向作用。进一步分析表明,在剥离环境因素和随机误差后,规模效率成为制约创新效率提升的主要原因;采用三阶段DEA模型对高技术产业创新效率进行度量比传统DEA和单阶段SFA更为合理。