【摘 要】
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在Ne、Fe、Kr、Xe、Ta五种重离子入射条件下获得了运放的SET幅值-宽度分布,发现SET脉冲具有宽、窄两种形态.在SET幅值-宽度特性基础上,采用概率密度方法获得了任意SET阈值下
【机 构】
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中国科学院新疆理化技术研究所特殊环境功能材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;中国科学院新疆理化技术研究所新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;中国科学院大学,北京100049
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在Ne、Fe、Kr、Xe、Ta五种重离子入射条件下获得了运放的SET幅值-宽度分布,发现SET脉冲具有宽、窄两种形态.在SET幅值-宽度特性基础上,采用概率密度方法获得了任意SET阈值下散射截面与LET的关系.考虑入射深度与器件敏感区域的匹配,根据产生的电荷量,可对重离子-激光的SET进行关联,以便获得等效重离子的激光能量.激光与重离子的对比试验表明,选取恰当的激光能量,能够反映重离子产生的SET幅值.研究结果为双极模拟集成电路抗SET选型评估及激光试验条件的选取提供了参考.
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