【摘 要】
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对准分子光源的一般性质进行了介绍，并概述了5种最具应用前景的稀有气体一卤素准分子光源的最新研究进展。目前获得的最佳紫外辐射效率为：溴化氪（KrBr＊）207nm，2．4％；氯化氪（KrCl＊）222nm，15％；
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对准分子光源的一般性质进行了介绍，并概述了5种最具应用前景的稀有气体一卤素准分子光源的最新研究进展。目前获得的最佳紫外辐射效率为：溴化氪（KrBr＊）207nm，2．4％；氯化氪（KrCl＊）222nm，15％；氯化氙（XeCl＊）308nm，11％；碘化氙（XeI＊）253nm，2％；溴化氙（XeBr＊）282nm，10．5％．
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