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以硬质合金作为衬底,分别采用了化学涂层(CVD)和物理化学涂层(PCVD)的技术涂复Ti(C,N)-TiN硬质膜,应用X射线光电子谱分析(XPS)技术,研究涂层表面化学成分,元素化学状态,物相组成及基随深度的变化,涂层表面由Ti,N,C,O和 Co组成;表面物相包括TiN,TiOx及CoC。随着深度的增加,Ti:N迅速变为1,而TiOx和CoO含量急剧减少。