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用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.
用喷雾热分解法制备MgO薄膜
【摘 要】
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用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射
【机 构】
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北京市,中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室,新疆物理所
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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2004年期
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